Nhật Bản năm 1976 dự án VLSI thắng thị trường quang khắc Mỹ

năm 1978 nhà máy sản xuất của Mỹ độc chiếm 70% thị phần thiết bị quang khắc thế giới Năm 1982 Mỹ vẫn giữ 62% thị phần Năm 1989 Nhật Bản giữ 70% thị phần, công đầu thuộc về Canon và Nikon Vị trí thống lĩnh thị trường của Mỹ nhanh chóng bị đẩy lùi. Một công ty thua lỗ 100 triệu usd năm 1986, công ty khác hoàn toàn từ bỏ mảng thị trường năm 1989 Sức mạnh của công nghiệp quang khắc Nhật Bản gây choáng váng lĩnh vực bán dẫn. Người Mỹ không tiếc giấy mực phân tích cố gắng tìm ra lý do thất bại Người Mỹ tạo ra thị trường Cuối thập niên 1950, các nhà khoa học tại Fairchild và Texas instrument chế tạo và thương mại hóa mạch điện tích hợp trên nền bán dẫn đầu tiên. Fairchild Semiconductor: Kỷ niệm 60 năm Huyền thoại Thung lũng Silicon (ichi.pro) Nữ chuyên gia tài năng của Tập đoàn Texas Instruments (Mỹ) - Tuổi Trẻ Online (tuoitre.vn) Họ đã có đột phá trong khả năng chế tạo được số lượng lớn chip điện tử kích thước nhỏ hơn, nhanh hơn và tiết kiệm điện hơn trước đó. Chính phủ Mỹ và quân đội ngay lập tức dành sự quan tâm đến mảng thị trường này. Họ đặt hàng chip điện tử cho chương trình vũ trụ Apollo và máy tính dẫn đường cho tên lửa xuyên lục địa Minutemen II Chuyến bay nguy hiểm của tàu vũ trụ Apollo 11 năm 1969 - Báo Công an Nhân dân điện tử (cand.com.vn) Đây là chiếc máy tính đã đưa con người lần đầu đặt chân lên mặt trăng (saostar.vn) RAM điện thoại của bạn so với máy tính điều khiển Apollo 11 hơn bao nhiêu lần? (cafebiz.vn) Mỹ phóng tên lửa đạn đạo liên lục địa Minuteman III (thanhnien.vn) Nhu cầu cải thiện chip của Mỹ là vô đáy, doanh số khủng và quỹ chính phủ thúc đẩy thung lũng Silicon đi tiên phong tăng công suất hạ giá thành để nâng cao lãi tức và hiệu quả, và Mỹ trở thành những người đầu tiên thống lĩnh toàn cầu trong sản xuất chip bán dẫn. Lúc đầu mọi người tự làm lấy thiết bị riêng. Dần dần nhu cầu chip mới và tốt hơn buộc các nhà sản xuất mạch tích hợp thuê ngoài tìm thiết bị tốt hơn. Nhưng công ty nhận ra rằng những bên bán hàng ngoài sẽ mang nhiều nguồn lực và nỗ lực hơn để trợ lực xử lý một vấn đề chuyên môn cụ thể. Thị trường phơi sáng quang khắc tăng trưởng như vậy, với nhiều công ty chủ yếu Mỹ nhanh chóng gia nhập. Máy chỉnh nắn dùng hình ảnh (projection aligner) Năm 1973 công ty Perkin Elmer ra mắt Microline máy chỉnh nắn dùng hình ảnh (projection aligner) đầu tiên, phục vụ một dự án cho hợp đồng nghiên cứu của không quân Thời điểm ra mắt, Microline cho ra sản phẩm tỉ lệ lỗi thấp hơn rất nhiều các máy đối thủ, tăng lợi tức sản xuất từ 10 đến 70%, khiến máy Microline trở nên đắt giá (vì được thèm muốn) và Perkin Elmer trỗi dậy dẫn đầu thị phần Máy Quang Phổ Hấp Thụ Nguyên Tử AAS Perkin Elmer AAnalyst 200 (maykhoahoc.com) chemedic, Perkin Elmer, sàng lọc trước sinh, sàng lọc sơ sinh, máy sinh hóa, Cobas C311, máy miễn dịch, Cobas E411, Realtime PCR Hãng Perkin Elmer - Mỹ (vinaquips.com) Máy chỉnh nắn dùng hình ảnh (projection aligner) có điểm yếu là chiếu một thiết kế chip lên toàn bộ tấm wafer, nó bị giới hạn mức độ chi tiết mà nó có thể chiếu lên (giống như không tỉa tót được, chạm khắc thủ công từng nanomet nhỏ). Máy dập quang khắc (stepper) Thế hệ thiết bị quang khắc mới đã bắt đầu khởi động để khắc phục điểm yếu trên. Thay vì chiếu lên toàn bộ tấm wafer, máy sẽ di chuyển và khắc từng tia ảnh nhỏ lên tấm nền (giống thêu chỉ lên tấm vải, lần lượt đâm từng mũi kim, nhưng đây là dùng tia sáng / tia ảnh khắc lên chất bán dẫn, lần lượt đục từng mũi khoan ánh sáng) Ra đời cái tên máy dập (stepper) vì chiếu tia ảnh dập xuống từng bước một đến hết toàn bộ tấm bán dẫn wafer in thạch bản (lithography) - Bí mật của cuộc cách mạng silicon (blogin3d.com) Năm 1975 tập đoàn địa vật lý Mỹ là GCA geophysics corporation of America, một công ty vẽ bản đồ, mua lại một công ty sản xuất động cơ chính xác nhỏ tên là David Man * Năm 1977 Kỹ thuật của hai công ty sát nhập lại đã ra đời được máy dập quang khắc thương mại đầu tiên bán cho IBM Máy stepper cho phép tỷ lệ lỗi và lợi tức cao hơn máy chỉnh nắn dùng hình ảnh của Perkin Elmer, nhưng vẫn có hai điểm yếu Xuất lượng chậm: mất thời gian hơn rất nhiều để lần lượt khắc từng mũi dập lên hết tấm wafer Xuất lượng (Throughput) là gì? Công thức tính xuất lượng (vietnambiz.vn) Do tốc độ chậm nên cần nhiều máy hơn khi sản xuất cùng một sản lượng Đắt: máy có giá 500 000 usd, đắt gấp 30 lần máy chỉnh dùng hình ảnh do Perkin Elmer bán Khách hàng lớn của GCA là IBM, AT&T, Fairchild và National Semiconductor sẵn sàng mở hầu bao chi tiền mua Năm 1976 GCA đạt doanh thu 62 triệu usd Cơ hội cho Nhật Bản Vậy là, lúc đó Perkin Elmer đã có vị trí trên thị trường, khá thành công nhưng có một điểm yếu hiển nhiên, GCA ra đời một kỹ thuật mới hiệu suất vượt trội nhưng lúc đó cũng có điểm yếu riêng và quá đắt không phổ biến được đại trà Khoảng trống thị trường cho ai nhảy vào, đề nghị được máy vừa giá vừa hiệu suất 'Thời vàng son' đã qua của Nhật Bản: Từ cường quốc công nghệ với tàu cao tốc chạy 210 km/h, băng cassette Sony đến kẻ 'ra rìa' trong cuộc chơi chip điện tử (genk.vn) Thập niên 1960 chính phủ Nhật Bản áp dụng chính sách chuyển giao kỹ thuật bán dẫn, nếu một công ty ngoại muốn thâm nhập thị trường Nhật Bản màu mỡ, họ phải hợp doanh với doanh nghiệp nội địa, doanh nghiệp nội sẽ hấp thụ kiến thức nước ngoài với hi vọng sẽ có thể thế chân. Chính sách để thị trường bán dẫn Nhật có thể cập nhật được thực tiễn thiết kế và sản xuất của Mỹ. Tuy nhiên vụ chuyển giao kỹ thuật khổng lồ này cũng đã che giấu sự thật rằng bản thân người Nhật không tự phát minh ra kỹ thuật bán dẫn Đã có số ít thành công được người Nhật bỏ túi, ví dụ thiết bị lắp ráp bán dẫn. Cho đến nay các nhà sản xuất bán dẫn Mỹ vẫn thuê ngoài công việc lắp ráp giá trị thấp cho vùng Đông Nam Á Nhật Bản không thể làm tương tự vì lý do chính trị, cho nên đã buộc công ty như Shinkawa và Disco phải xây dựng những cỗ máy lắp ráp hiệu quả hơn và nặng về tự động hóa hơn. Nhà máy sử dụng toàn robot thông minh của Nissan (vnexpress.net) Những thiết bị vượt trội sớm giành được thị phần từ người Mỹ, tuy thành công cũng hiếm Thực tế phũ phàng là người Mỹ vẫn chế tạo được máy tính tốt nhất, chip điện tử tốt nhất và thiết bị quang khắc / in thạch bản tốt nhất. [Tìm hiểu] Những thông tin cơ bản nhất về in thạch bản (intietkiem.com) Nhu cầu cho những vật phẩm đó tăng vọt, nới khoảng cách giữa người Nhật và Mỹ Texas Instrument một mình chi tiền vào nghiên cứu phát triển bán dẫn nhiều hơn cả Fujitsu, Hitachi và NEC cộng lại Vết thương lòng của Nhật Bản Thập niên 1970, kẹt giữa thống trị thị phần in thạch bản của GCA và Perkin Elmer, cùng thống lĩnh thị phần chế tạo máy vi tính của IBM, Nhật Bản bắt đầu trải nghiệm áp lực căng thẳng do thiếu lực cạnh tranh của mình trong công nghiệp máy vi tính. Dưới lãnh đạo của đảng dân chủ tự do, chính trị gia Nhật Bản nghe đồn được tin tức về máy vi tính một chip vi xử lý của IBM và xem đó không khác gì sự kiện Hắc Thuyền ngày 3 tháng 7 năm 1853 Sự kiện Hắc Thuyền - Điểm khởi đầu cho sự chuyển mình của Nhật Bản (spiderum.com) Kỳ tích của các anh hùng thời Minh Trị duy tân - Tuổi Trẻ Online (tuoitre.vn) Thời Edo người ta làm thế nào để học tiếng Anh? – Những nẻo đường Phù Tang (nhungneoduongphutang.com) Từ lạc hậu và bị bắt nạt, Nhật Bản trỗi dậy đánh bại Nga, Trung Quốc ra sao? (24h.com.vn) Đảng Dân chủ tự do Nhật Bản có tân Chủ tịch (qdnd.vn) Tomisaburo Hashimoto nói: “Chúng ta có quá nhiều nhà chế tạo máy vi tính ở Nhật Bản để đấu với con quỷ IBM… tái tổ chức công nghiệp máy vi tính và thành lập một tổ chức hợp nhất hơn và tích hợp việc phát triển hơn cho kỹ thuật VLSI là cấp bách cần thiết.” Bộ trưởng kinh tế thương mại và công nghiệp Nhật Bản METI thúc giục tái tổ chức công nghiệp máy tính Nhật Bản và bắt kịp phương tây Bộ Kinh tế, Thương mại và Công nghiệp Nhật Bản (METI) tìm cách thúc đẩy số hóa thương mại và chăm sóc sức khỏe ở châu Á - Phòng khám METiC tiêu chuẩn Nhật Bản Năm 1976 bộ METI ra đời dự án VLSI – very large scale integrated (cộng tác quy mô rất lớn) Khác hoàn toàn dự án VLSI năm 1978 của cục quản lý các dự án nghiên cứu quốc phòng tiên tiến DARPA Mỹ - very large scale integration – nhét hàng triệu bóng bán dẫn MOSFET vào một con chip duy nhất. Trước dự án VLSI 1978 này của Mỹ, hấu hết mạch điện tích hợp bị giới hạn chỉ làm được một loạt chức năng nhất định, một mạch điện tử có thể phải có chip CPU, ROM, RAM và các logic hồ dán (glue logic) kết nối Các dự án nghiên cứu gây “sốc” của DARPA (vov.vn) Vén màn bí mật cơ quan nghiên cứu tối tân thế giới (thanhnien.vn) Very Large Scale Integration - Wikipedia Dự án VLSI 1976 của Nhật Bản Năm 1976 dự án VLSI của Nhật Bản có dự toán tổng 281 triệu usd cho 4 năm, một nửa sẽ do chính phủ chi Năm 1980 IBM được mong chờ sẽ ra mắt chiếc máy vi tính một chip, nhưng đã thất bại Mục tiêu dự án VLSI 1976 là tập hợp nhiều doanh thủ máy vi tính Nhật Bản cùng phát triển thế hệ kỹ thuật thiết bị bán dẫn mới, cộng tác quy mô lớn giữa 5 thành viên Fujitsu, Hitachi, Mitsubishi Electric, NEC và Toshiba – chỉ các công ty máy vi tính – những công ty điện tử tiêu dùng Sharp và Sony đứng ngoài, chỉ những công ty máy tính nặng về nghiên cứu phát triển nhất tham dự Giám đốc dự án Masato Nabashi sau đó nói: “Họ không che giấu hiềm khích, họ thảo luận mà không che đậy những động cơ ích kỷ của mình.” Ví dụ dự án sẽ lập ra hai loại phòng thí nghiệm: Phòng thí nghiệm hợp tác nòng cốt (core): các thành viên hợp tác để nghiên cứu nền tảng cơ bản; cũng sẽ là cơ quan chính của dự án Những phòng thí nghiệm nhóm: nhiều thành viên công ty để nghiên cứu kỹ thuật áp dụng thực tiễn Các phòng thí nghiệm nhóm thì được chọn không vấn đề gì, nhưng 5 thành viên biệt đội Avenger mạch điện tử Nhật Bản thì mất 6 tháng tranh cãi chọn địa điểm đặt phòng thí nghiệm core Địa điểm cuối cùng được chọn là phòng thí nghiệm trung tâm của NEC ở Kanagawa Biệt đội Avenger Nhật Bản Dự án VLSI thành lập một ban giám đốc có thành viên là các chủ tịch của 5 công ty Tiếp dưới là một giám đốc quản lý là Masato Nabashi Dưới ông là một ủy ban chung là các giám đốc công ty Dưới nữa là ủy ban vận hành và kỹ thuật, bao gồm các trưởng phòng của 5 công ty Tùy theo định hướng của ủy ban kỹ thuật, mục tiêu sẽ được đề ra cho khoảng 100 nhân viên – nhân viên được vay mượn từ các công ty – để nghiên cứu và báo cáo Tối quan trọng là, những nhân viên đi mượn này không được công ty tự chọn, mà được chọn bởi trưởng phòng thí nghiệm hợp tác. Dự án có nhiều mục tiêu nghiên cứu: Kỹ thuật quang khắc / in thạch bản Kỹ thuật tinh thể Kỹ thuật thiết kế Kỹ thuật xử lý Kỹ thuật thẩm nghiệm Chế tạo phần cứng Masato Nebashi nói: “Tôi đã không can thiệp vào việc nghiên cứu. Quan tâm lớn của tôi trong tổ chức là vấn đề nhân sự: làm sao để điều phối những nghiên cứu từ những công ty khác nhau và khiến chúng tương tác. Tôi muốn họ trở thành bạn tốt, trao đổi với nhau, và mở lòng…” “Cho nên, tôi đã làm theo phong cách Nhật Bản: Tất cả những gì tôi làm trong 4 năm là uống rượu với họ bất cứ khi nào có cơ hội. Tôi muốn hiểu những than phiền của họ trong những dịp đi nhậu và cố gắng loại bỏ chúng.” Tuy chém gió vậy, Nabashi không phải chỉ là bạn nhậu của những nhân viên giận dữ, ông ân cần quan tâm đến cảm xúc của con người và thúc đẩy họ đi đúng chương trình, và giữ đúng nhiệm vụ của chương trình. Khi có vấn đề, ông nhận lấy nghĩa vụ sửa chữa. Nabashi thành công, nhiều nhà nghiên cứu cuối cùng thành bạn, cho đến khi dự án tan rã tháng 3 năm 1980 họ tổ chức tiệc chia tay, thiết bị đắt tiền được chia đều và mọi người còn viết cả bản tin cựu sinh viên Thành quả Toàn bộ dự án đạt được hơn 1000 bằng sáng chế mới trên tất cả những mục tiêu nghiên cứu kỹ thuật, thăng tiến đáng kể lượng kiến thức nội địa của Nhật Bản về bán dẫn và nền công nghiệp sản xuất của mình, biến họ thành hơn chỉ một kẻ theo sau nhanh chân. Đối thủ cạnh tranh hợp tác cùng nhau cho mục tiêu lớn hơn, 16% số bằng sáng chế được nộp là sáng chế chung của các thành viên các công ty đối thủ. Quan trọng nữa, nhiều bằng sáng chế này đăng ký ở những lĩnh vực một công ty biết họ gặp vấn đề nhưng không đủ nguồn lực tự khắc phục Ví dụ việc làm thế nào giữ cho một tấm wafer silicon được phẳng trong xử lý Bên cạnh đó có thêm một lợi ích lớn khác, kỹ thuật in thạch bản / quang khắc đạt tiến bộ xa nhất. Sau 4 năm dự án đã xây dựng được ba loại quang khắc sử dụng tia electron, cho phép khắc những cấu hình dưới 1 micromet Sau khi hiệp hội nghiên cứu đã đạt được tiến bộ với những nỗ lực quang khắc của mình, họ bắt đầu trao đổi để đặt mua với nhà cung cấp. In thạch bản là một nỗ lực đa ngành, để một công ty thuần thục được, họ phải thuần thục được trong 3 lĩnh vực: Quang học cấu hình cao Tia electron tiên tiến / kỹ thuật quang khắc x-ray Động cơ siêu chính xác Các thành viên dự án VLSI cuối cùng chấp nhận làm việc với những công ty Nhật Bản có kinh nghiệm đặc thù này. Đó là Canon và Nikon Nikon thích hợp hơn nhờ chuyên môn cả quang học và cơ học, bán kính hiển vi y tế từ năm 1925 – quang học – và chế tạo kính viễn vọng khổng lồ cho đài thiên văn – cơ học siêu chính xác Canon không có kinh nghiệm cơ học siêu chính xác, nhưng có tinh thần hăng hái. Năm 1970 công ty đã bắt đầu phát triển máy chỉnh nắn (aligner) cho công nghiệp mạch tích hợp trong một dự án họ gọi là dự án Micron – những máy chỉnh nắn đầu tiên PLA series – đã ra mắt thị trường được 3 năm khi dự án VLSI vẫy gọi. Năm 1973 sản phẩm đầu tiên của Canon máy PLA 300 ra mắt nhưng không cạnh tranh nổi do kỹ sư Canon thiếu chuyên môn cơ học siêu chính xác, máy chỉnh nắn gặp vấn đề chuẩn xác. VLSI liên lạc Canon và ủy nhiệm một loại máy chỉnh nắn tên gọi máy chỉnh nhắn xấp xỉ, sử dụng kỹ thuật quang khắc cũ hơn có khoảng trống giữa mặt nạ quang và chất nền. Chuỗi sản phẩm máy PLA 500 và PLA 600 ra mắt đã thành công vang dội, một số máy được dùng cả thập kỷ sau. Canon cũng nỗ lực làm cả máy dập (stepper) loại máy mới đắt đỏ của GCA, nhưng không đủ nguồn lực làm cả hai dự án sản phẩm Năm 1977 Nikon đươc ủy nhiệm làm máy dập quang khắc, chưa có kinh nghiệm gì trước đây, VLSI đã phải hướng dẫn và hợp tác tỉ mỉ điểu chỉnh các chi tiết đạt yêu cầu kỹ thuật VLSI trợ giúp Canon và Nikon không hề nằm trong biệt đội Avenger mạch điện tích hợp VLSI. Hai công ty không được họp kín với những thảo luận nội bộ nhóm giữa 5 siêu anh hùng và dự án cũng chưa bao giờ bảo hai công ty thâm nhập thị trường thế giới bằng những sản phẩm mới họ đặt hàng VLSI đã làm là: Khách hàng nền móng (đầu tiên và trung thành) mua sản phẩm Canon và Nikon chế tạo Công ty dấn thân vào một ngành công nghiệp và chuỗi giá trị sản phẩm mới thường đối mặt khó khăn “tiến thoái lưỡng nan”: Làm thế nào có tiền để phát triển sản phẩm? Ai sẽ trả tiền mua đợt hàng xuất ra đầu tiên? Chính phủ Nhật Bản cơ bản nói rằng họ sẽ “đầu tư” để có sản phẩm hoàn thiện, họ sẵn lòng chi tiền mua đợt hàng thử nghiệm đầu tiên, thứ hai và thứ ba, trên con đường ra đời được sản phẩm hoàn thiện Giống như Intel, TSMC và Samsung bỏ ra hàng tỷ đôla suốt nhiều năm tài trợ hành trình lao động của ASMC nhằm hướng thương mại hóa EUV VLSI rõ ràng bày ra rõ thứ họ muốn và sẵn lòng làm việc sát sao với các bên cung cấp để đạt được Sẽ thật bối rối gặp phải khách hàng không biết họ muốn gì. Nikon bắt đầu phát triển máy dập bằng cách mua một máy từ liên minh bán dẫn toàn cầu GSA global semiconductor alliance, GSA bán vì xuất khẩu công nghệ cho Nhật Bản được luật pháp cho phép. Nikon tháo ra nghiên cứu và rồi lắp đặt một bản mẫu của mình hoạt động cùng tính năng là máy NSR 1010G ra mắt năm 1980 Không khó hiểu máy hoạt động thảm hại, VLSI không vứt bỏ mà làm việc sát với Nikon để cải thiện sản phẩm. Sau khi dự án VLSI giải tán, cả Canon và Nikon đều đã có được sản phẩm có thể ngạo nghễ trên thương trường. Thị trường Nhật Bản bùng nổ Dự án VLSI đã thành công châm ngòi công nghiệp bán dẫn nội địa Nhật Bản, xây những xưởng đúc khổng lồ chế tạo những chip bộ nhớ thời thượng nhất. Từ năm 1980 đến 1982 công nghiệp quang khắc Nhật Bản tăng trưởng 66% trong khi Mỹ tăng 10% Công ty Nhật sau đó lấy kỹ năng tối ưu dây chuyền sản xuất và chuỗi cung công nghiệp để xả ngập thị trường, đánh bại các đối thủ Mỹ ở mảng sản phẩm 64 kilobyte DRAM Người Nhật có khả năng khiến công nghệ cũ chạy mượt mà và giá phải chăng. Canon gây choáng ngành công nghiệp bằng sản phẩm máy chỉnh nắn xấp xỉ có khả năng đạt được in thiết kế 2 đến 3 micromet, nhiều chuyên gia đã nghĩ là không thể Năm 1980 Nikon ra mắt thị trường thành quả lao động làm với VLSI máy dập NSR 1010G, bán đợt đầu cho NEC và Toshiba lọt hoàn hảo vào dây chuyền sản xuất của khách Tăng trưởng bùng nổ của thị trường Nhật gây ngạc nhiên những công ty sản xuất thiết bị quang khắc Mỹ Năm 1981 là năm suy thoái kinh tế Mỹ, người Mỹ không quen với thị trường mới, bị phụ thuộc vào các doanh nghiệp thương mại Nhật để tìm hiểu thị trường Liên minh bán dẫn toàn cầu GSA cố gắng duy trì chuỗi sản xuất nhưng nhà cung cấp thấu kính quang học của họ Carl Zeiss không bán thấu kính ra kịp, đơn hàng bị trì hoãn liên tục khiến các nhà máy bán dẫn Nhật Bản mất kiên nhẫn, tìm người bán khác, Nikon nhảy vào đoạt lấy 20% thị phần chỉ trong một năm (1981) Thị phần Mỹ trong mọi mảng thiết bị sản xuất bán dẫn đều sụp đổ. Cuộc chiến kết thúc, công nghiệp quang khắc Mỹ teo tóp và chết yểu. Tương lai Người chơi thay đổi, thị trường thay đổi, kỹ thuật cũng thay đổi rất nhiều Chiến thắng của Nhật Bản không tồn tại lâu, Canon và Nikon không duy trì được vị thế trên thị trường quang khắc, thị trường bán dẫn Nhật Bản sụp đổ cuối thập kỷ 1980 sang đến 1990. Người Mỹ có động lực đáp trả cú mất vị trí đầu thị trường, lao vào nghiên cứu để phát triển kỹ thuật sản xuất bán dẫn đột phá và ứng dụng Dự án VLSI được hâm mộ đến mức người Mỹ tự lập cho mình dự án Sematech với cùng ý tưởng www.erct.com/1-TinTuc/1-TinVui/Anh_DaoTrungGiang.htm Hợp tác công tư trong R&D: Vực dậy ngành công nghiệp bán dẫn Mỹ (tiasang.com.vn) Bản in bài viết | PPP vì con người - hướng tới lợi ích bền vững của cộng đồng (baochinhphu.vn) Sematech đã đạt được thế hệ kỹ thuật quang khắc tiếp theo EUV. Hiện tại công nghiệp quang khắc Mỹ không còn tồn tại, cho nên Sematech và chính phủ Mỹ quay qua lựa chọn thay thế tốt nhất – ASML của Hà Lan