năm 1869 dự án đăng ký bản quyền một thiết bị phát sáng mới để rọi vào tiêu bản đặt dưới kính hiển vi, ưu việt hơn thế hệ cũ
năm 1872 Abbe ra mắt lý thuyết sóng trong hình ảnh hiển vi, được gọi tên là "điều kiện sin Abbe" là cách tiếp cận đã khả thi hoá việc phát triển được một loạt 17 vật kính hiển vi, cải thiện hơn so với thế hệ trước
Abbe nói: "dựa vào nghiên cứu trước đây về vật liệu sử dụng, những thiết kế nói đến đây được cụ thể bằng tính toán rất chi tiết, mọi đường cong, mọi độ dày, mọi khẩu đổ của thấu kính - để loại bỏ mọi sai sót"
trước công trình của Carl Zeiss và Ernst Abbe, thấu kính vẫn được làm bằng cách thử và sửa và bằng cách lặp lại những công thức kính và thấu kính đã được thử nghiệm. Tuy nhiên, những vật kính này là những thấu kính đầu tiên được thiết kế hoàn toàn dựa vào lý thuyết quang học từ những định luật vật lý. Hiệu năng tăng đáng kể của vật kính hiển vi Zeiss đã được quốc tế công nhận là một cải tiến có thể phát minh ra những sản phẩm hiệu năng cao
ý tưởng ban đầu của Abbe chưa tiên tiến lắm, một trong những thiết kế hiển vi dựa vào tính toán ban đâu của ông đã cho thấy kém chất lượng hơn sản phẩm hiện hữu của Zeiss, khiến Abbe phải tập trung hơn công sức và ra đời lý thuyết mô hình hình ảnh trong quy mô hiển vi và công thức để tiên đoán độ phân giải hiển vi tối đa có thể đạt được. Thành quả quan trọng cùng những yếu tố nữa để Carl Zeiss hợp tác với Abbe ngày 22 tháng 7 năm 1887, mặc dù hai bên đã trao đổi từ ngày 15 tháng 5 năm 1875
năm 1881 Roderich là con trai của Carl đã trở thành một đối tác sở hữu công ty Zeiss
Otto Schott - sinh ngày 17 tháng 12 năm 1851 ở thành phố Witten mất ngày 27 tháng 8 năm 1935 - lớn lên trong một gia đình làm kính cửa sổ, năm 1853 cha của Otto trở thành đồng sở hữu một hiệu kính cửa ở Westphalia
cuối năm 1879 Schott gửi thư cho Ernst Abbe miêu tả thành tựu của mình phát minh một kỹ thuật để công thức hoá một loại kính mới chứa lithi, sau đó Schott gửi mẫu kính mới cho Abbe. Dự án của Schott tại quê nhà Witten đến năm 1881 đã ra được những sản phẩm kính có đặc tính quang học độc nhất vô nhị bấy giờ
ngày 4 tháng 1 năm 1881 Schott gặp tiến sĩ Abbe người khuyến khích Schott áp dụng một cách tiếp cận khoa học vào xác định những nguyên liệu thô để sử dụng trong những công thức kính và phát triển những kỹ thuật sản xuất đã dẫn đến ra đời hơn 100 loại kính quang học và công nghiệp.
Schott và Abbe hợp tác cũng đã cải thiện những công đoạn pha trộn nguyên liệu và ủ kính
năm 1882 Schott rời đến một phòng thí nghiệm làm kính mới ở Jena
năm 1884 Schott và Carl và Roderich Zeiss và Ernst Abbe thành lập phòng thí nghiệm kính [glastechnisches laboratorium] Schott và Genossen để phát triển những mẫu kính quang và kháng nhiệt mới. Phòng thí nghiệm đã trở thành Glaswerke Schott và Genossen
trong số những mẫu kính mới do Schott phát triển có Borosilicate Crown còn được gọi tên là kính BK
cải tiến kính của Schott đã khả thi hoá cho Zeiss năm 1886 ra mắt thấu kính "vô sắc [apochromate]" là một thấu kính cải thiện sửa lỗi màu sắc. Công ty không chỉ tiên phong những mẫu kính mới và còn cả cách sử dụng mới, bao gồm "kính Jenare" là loạt kính trong nhà và sản phẩm kính cho phòng thí nghiệm và công nghiệp
Schott được bầu vào hội đồng thành phố Jena từ năm 1896 đến 1899 và năm 1926 nghỉ hưu công việc kính
những dự án kính Jena của Schott trở thành nguồn cung kính và vật liệu kính lọc [nhiếp ảnh] chính cho các sản phẩm của Zeiss. Việc nghiên cứu phát triển đã cho ra thành quả đáng chú ý đầu tiên năm 1886 khi Zeiss chào bán kính vật hiển vi "vô sắc" đầu tiên: sản phẩm cho chất lượng vượt trội, sử dụng những nguyên tố "fluorspar" lần đầu tiên sử dụng tinh thể trong ứng dụng quang học công nghiệp
Francis J Emmerich năm 1872 ở hồ Maiden đã chuyển thành Francis J Emmerich và con trai ở địa chỉ 138 đường Fulton thành phố New York, và năm 1889 về địa chỉ 43 đường Barclay, đã nhập khẩu và bán công cụ thương hiệu Carl Zeiss trước khi Emmerich mất năm 1892
ngày 3 tháng 12 năm 1888 Zeiss mất, công ty trước đó đã cán mốc bán chiếc kính hiển vi thứ 1 vạn. Abbe kế thừa 250 nhân viên và thợ thủ công.
năm 1889 hãng Zeiss xuất bản ca ta lô thứ 28 liệt kê loạt sản phẩm kính hiển vi, được ngài F J Emmerich [cha] ca ngợi là "nhiều linh kiện mới và cải thiện quang trọng". Emmerich cũng suýt bị Heinrich Hensoldt (1856-1918) lừa và những vụ bán hàng rởm dán mác Zeiss khác, cho nên Emmerich có nói thêm:
"theo tôi, các nhà sản xuất nên noi gương ngài Carl Zeiss thành Jena, cái tên được khắc nổi bật trên tất cả những vật kính ngài làm ra, theo phương pháp được sản xuất dưới sự giám sát của giáo sư Abbe, cho nên không thể có sản phẩm kém chất lượng nào được bán ra từ cửa hàng của ông. Tôi xin phép, tuy nhiên, được bổ sung rằng mọi người mua cần kiểm tra kỹ sản phẩm mình nhận được xem có phải hàng authentic hay không, và nên cẩn thận hàng giả mạo"
cho đến nay, làm giả sản phẩm của Zeiss vẫn tiếp diễn đến thế kỷ 21, cụ thể là những đồ cổ hay ống nhòm bắt chước sản phẩm làm bởi Carl Zeiss Jena
Abbe quan tâm đến cải thiện dữ liệu học thuật và nghiên cứu, đã thành lập được khoa vật lý ứng dụng và hoá học ứng dụng tại trường đại học Jena
Abbe cũng quan tâm đến cải cách xã hội và đỉnh điểm là thành lập năm 1889 quỹ [Stiftung] Carl Zeiss
năm 1889 có 350 nhân viên và người làm với công ty Zeiss và quỹ
năm 1891 quỹ Carl Zeiss chính thức được xác lập khi Abbe và sau đó cả Roderich Zeiss đã thừa kế lại cổ phẩn nhà máy làm quang học Zeiss và hiệu kính Schott cho quỹ [Stiftung]
quỹ hoạt động để lợi nhuận của Zeiss tài trợ cho tăng trưởng: số lượng nhân viên, thợ thủ công và công nhân tại Zeiss đã lên đến 520 người
năm 1896 kỷ niêm 50 năm thành lập Zeiss là 685 nhân sự, gần gấp đôi chỉ 7 năm trước và đến năm 1905 tăng thành 1450 nhân viên
năm 1900 người làm tại Zeiss được hưởng điều kiện lao động tốt bất thường thời bấy giờ: ngày làm 8 giờ, nghỉ lễ hưởng lương, chăm sóc y tế, chia sẻ lợi nhuận và lương hưu. Ta đoán rằng ấy là nhờ một điều khoản trong Stiftung Statutes [chính sách quỹ] quy định người lương cao nhất Zeiss chỉ được cao hơn thu nhập trung bình công nhân tối đa là 1 phần 10. Chính sách bảo vệ người lao động thời ấy là hiếm nhưng mang lại cho công ty lòng trung thành và thu hút ứng viên chất lượng cao hơn đến xin làm
năm 1923 Schott cũng chuyển cổ phẩn của mình tại hiệu kính vào quỹ
Nhiếp ảnh
nhiếp ảnh cũng trở thành nhân tố chính cho thành công của Carl Zeiss. Máy ảnh cần những linh kiện căn bản: một thấu kính (Zeiss thiết kế và làm ra), một cơ chế màn trập (Abbe thiết kế và đăng ký bản quyền) và cuộn phim. Dễ thấy đây là một cơ hội bán hàng lớn và Zeiss đã sắn sàng đáp ứng, bán ra những sản phẩm thấu kính được coi trọng đến tận thế hệ ngày nay
Paul Rudolph 14/11/1858 - 08/03/1935 nhà vật lý Zeiss dẫn đầu việc phát triển thấu kính anastigmat đầu tiên. Trước đấy, mọi thấu kính máy ảnh đều cho ảnh mà nếu kiểm tra kỹ sẽ thấy khuyết tật (quang sai). Thấu kính "anastigmat" là đầu tiên trong loạt sản phẩm được làm cho nhiếp ảnh phim để sửa lỗi loạn thị, quang sai [coma] và cầu sai [spherical aberration]
sửa lỗi sai màu [chromatism aberration] xuất hiện khi một vầng hào quang tím hoặc đỏ thắm nới những màu tương phản gặp nhau, gây ra bởi những bước sóng ánh sáng xuyên qua kính bị lệch, sẽ không phải vấn đề nếu thấu kính có tiêu cự ngắn.Sau này, cải tiến trong kỹ thuật kính đã giải quyết vấn đề này với thấu kính [tiêu cự] dài
Thấu kính chính trị [anastigmat] đầu tiên là chiếc Protar năm 1890, sau đó là chiếc Planar năm 1895, Unar năm 1899, Tessar năm 1902 sắc đến mức được ca ngợi là "mắt đại bàng", và chiếc Plasmat năm 1918
cải tiến để xử lý vấn đề mới hoặc cải thiện hiệu năng hơn thế hệ cũ, một thấu kính có thể được làm cho ứng dụng để đáp ứng gia tăng định dạng phim, hoặc một thấu kính mới cho phép tỷ lệ tiêu cự nhanh hơn để rút ngắn thời gian màn trập hoặc giảm độ sâu trường ảnh để tăng tính thẩm mỹ
với thị trường tiêu dùng, máy ảnh hoặc thấu kính Zeiss có lẽ là lần đầu tiên khách hàng được giới thiệu đến chất lượng của kỹ thuật thủ công và hiệu năng từ Carl Zeiss thành phố Jena
Zeiss có phương tiện và nhạy bén kinh doanh để biết khi nào thì cạnh tranh, khi nào thì mua lại [sát nhập] và Zeiss cũng biết khi nào hợp tác. Đầu thế kỷ 20 thiết kế thấu kính Zeiss đã tiên tiến và được biết đến mặc dù nhiều thiết kế mang bản quyền của các công ty sản xuất nước ngoài. Zeiss tạo quan hệ tốt với Bausch và Lomb ở Rochester thành phố New York, và Ross thành phố London, đã dẫn đến hợp tác ở lĩnh vực như sản xuất ống nhòm
năm 1902 Zeiss mua công ty khởi nghiệp Palmos A.G nổi tiếng với sản phẩm máy ảnh soi nổi [stereokamera] và Palmos định dạng 6x9 để tiếp tục làm sản phẩm Aktiengesellschaft Camerawerk Palmos
năm 1909 hiệp ước đạt được giữa 4 nhà làm máy ảnh Đức để thành lập tổ chức mới Aktiengesellschaft máy ảnh quốc tế [ICA] trụ sở ở Dresden:
hãng máy ảnh Palmos AG (Zeiss) ở Jena
Huttig AG ở Dresden
tiến sĩ Rudolf Krugener, phòng thí nghiệm quang hoá và Fabrik photographischer Apparate Frankfurt-Bockenheim (hiệu ảnh tiến sĩ Krugener) ở Frankfurt am Main
Wunsche AG ở Reick của Dresden
sản phẩm của ICA và tài liệu được quảng cáo dưới tên Internationale Camera Aktiengesellschaft ICA hoặc Ica-Contessa
năm 1912 G.Zulauf và đối tác ở Zurich gia nhập tổ chức. Một nhà sản xuất uy tín khác cũng gia nhập, nhnưg công ty Heinrich Ernemann AG ở Dresden đã bỏ phiểu được độc lập
năm 1914 Zeiss đã trở thành công ty lớn nhất thế giới về sản xuất máy ảnh với hàng tá thương hiệu sản phẩm và nhà máy, sản xuất cho thị trường ở Jena, Dresden và sau đó ở Stuttgart và Berlin, dẫn đến thành lựu và nhiều sản phẩm tiên tiến mang lại di sản độc nhất vô nhị, bao gồm Zeiss Ikon thành lập năm 1926
nhãn hiệu Contax nổi tiếng ra mắt năm 1923 dưới nhiệm kỳ của tiến sĩ Ing Heinz Kuppenbender
Lăng kính Porro và ống nhóm
năm 1870 Abbe độc lập phát minh lăng kính Porro (còn được gọi tên là thiết kế Porro-Abbe) và năm 1873 hoàn thiện mẫu thử nghiệm. Nhưng vì hạn chế của vật liệu thuỷ tinh cron bấy giờ nên Abbe bị đình hoãn dự án.
thiết kế lăng kính ban đầu của Ignazio Porro (1801-1875) người Ý
năm 1888 Schott cải thiện đặc điểm quang học của kính cron và nhờ thế Abbe tiếp tục dự án ban đầu
năm 1893 Abbe đăng ký bản quyền ngày 9 tháng 7 ở văn phòng bằng sáng chế đế quốc Đức cho "ống nhòm với cải thiện objective separation" 8x20 milimet mà Abbe áp dụng lăng kính mới trong một thiết kế cách không, trong một mô hình mà ngày nay là ống nhóm Porro cổ, cho phép separation rộng hơn giữa 2 thấu kính vật [cặp kính vật] - cải thiện những thiết kế đương thời và cho thấy nhận thức chiều sâu tốt hơn đáng kể
bằng sáng chế có hiệu lực đến hết năm 1908
năm 1894 Zeiss sản xuất ống nhóm lăng kính với ra mắt mẫu 4x11 milimet, 6x15 milimet và 8x20 milimet
năm 1895 Zeiss ra mắt mẫu 10x25 milimet
cụ thể, quân đội là nhóm khách sộp cho ống nhòm, đủ tiền mua cả lố. Zeiss biết được và đã đàm phán hợp đồng bán ống nhòm quân sự có khắc chứ D F là viết tắt cho Dienstglas Feldstecher [nghĩa là ống nhóm kính dịch vụ]. Hợp đồng đầu tiên cho Carl Zeiss thâm nhập thị trường quân đội là sản phẩm O D F 95 là chiếc 6x15 milimet làm đặc biệt cho sĩ quan, những người đủ tiền hoặc được chính phủ cấp
Thập kỷ 1930 đảng Đức quốc xã muốn đưa người vào quỹ nhưng bị từ chối. Dưới sức ép, thành viên hội đồng quản trị Quỹ phải kết nạp (chỉ có hư danh) vào đảng Nazi để duy trì hoạt động độc lập. Thế chiến II kết thúc, quân đội Mỹ chiếm đóng Jena năm 1945, sau đó rút lui để lại thành phố dưới ảnh hưởng của liên bang Soviet, nhưng Hoa Kỳ vẫn không quên “bắt cóc” 130 kỹ thuật viên và lãnh đạo công ty (Carl Zeiss) mang qua tái định cư ở thành phố Oberkochen tây Đức. Hội đồng quản trị, do chót kết nạp đảng Đức quốc xã, sẵn lòng chấp thuận rời bỏ quê hương. Những yếu nhân này đã xây dựng một nhà máy với công ty đặt trụ sở ở Oberkochen. Trong 6 tháng đầu của năm tài chính 2020/2021, doanh thu của ZEISS Group đạt 3,406 tỷ euro, tăng 6% | Thông cáo báo chí | Vietnam+ (VietnamPlus) Năm 1947 đến lượt quân đội Soviet vận chuyển 94% thiết bị của Zeiss nằm ở Jena kèm theo 300 nhân viên công ty trở về liên bang Soviet làm chiến lợi phẩm. Đây là nền móng thành lập hãng máy ảnh Kiev sau này Máy ảnh Cổ - Xưa - Bán máy ảnh Kiev 4 cổ của Nga - Copy Contax Đức (thegioidoco.net) Zeiss tây Đức tái thành lập dưới tên Opton, sau đổi lại làm Zeiss Oberkochen. Zeiss đông Đức vẫn ở Jena, biết đến dưới tên gọi VEB Carl Zeiss Jena (VEB viết tắt cho doanh nghiệp sở hữu nhà nước). Hai công ty trải qua nhiều thập kỷ bán ra cùng loại sản phẩm, liên tục đâm đơn kiện nhau ra tòa án quốc tế do xung đột thương hiệu. Sau 18 năm, hai công ty đồng ý chia đôi thị trường toàn cầu, chấp nhận không dùng thương hiệu Zeiss ở nửa bên kia. Cụ thể khi bán ở nửa thị trường của bên kia, Zeiss Oberkochen lấy tên Opton, Zeiss Jena lấy tên ausJena. Hai công ty bắt đầu từ hai bàn tay trắng (tái định cư và bị cướp) đều thịnh vượng qua thời gian, ở hai chế độ chính phủ khác nhau. Zeiss Jena đặc biệt trở thành công ty flashship của đông Đức, lấn sân sang lĩnh vực mới như công nghệ quân sự, công nghệ vũ trụ và chất bán dẫn. 9/11/1989 - Bức tường Berlin sụp đổ, nước Đức thống nhất (genk.vn) Sau sự kiện thống nhất, Zeiss Jena gặp khủng hoảng do quân đội Soviet cắt hợp đồng. Khó khăn chung khi sản lượng công nghiệp đông Đức sụt giảm 51% so với năm trước thống nhất, ba triệu người mất việc. Các công ty tây Đức như hổ vào bầy dê thu nhặt những miếng mồi ngon nhất. Zeiss Jena thỏa thuận với người anh song sinh phía tây, sau nhiều năm đàm phán, ký kết rằng bộ phận sản phẩm truyền thống của công ty Zeiss đông Đức như kính hiển vi và dụng cụ y tế sẽ được phía tây mua lại, cùng với tên thương hiệu. Phần còn lại, công ty 6800 nhân viên đổi tên thành Jenoptik hoạt động lĩnh vực chất bán dẫn, tia lase và tự động hóa. Chính phủ Đức cũng nhảy vào cứu Jenoptik mua lại 80% tài sản và giữ việc làm cho cả nghìn lao động tay nghề. Năm 1998 công ty phát hành cổ phiểu ra công chúng IPO thu được 400 triệu đôla. IPO Highlights Transformation Of East German Firm Jenoptik - WSJ Thiết bị đo hãng Jenoptik, Máy đo biên dạng ,Máy đo độ nhám hãng QPT (ttech.vn) Tập đoàn Carl Zeiss ngày nay kinh doanh 4 lĩnh vực: công nghệ sản xuất chất bán dẫn, nghiên cứu và duy trì chất lượng công nghiệp, công nghệ y tế và thị trường tiêu dùng. Họ cấp hệ thống quang học cho nhiều ngành công nghiệp từ làm kính mắt, ôtô, phẫu thuật, kính hiển vi và máy đo lường. Năm 2020 Carl Zeiss chi 812 triệu euro cho nghiên cứu phát triển, tương ứng 13% tổng doanh thu công ty. Phân nhánh bán dẫn Carl Zeiss SMT Phần lớn chip vi xử lý toàn cầu được chế bằng máy của Zeiss. Công ty Carl Zeiss SMT là liên doanh giữa tập đoàn Zeiss làm cổ đông lớn với ASML làm khách hàng mang lại 24.9% doanh thu công ty theo báo cáo hàng năm. Sản phẩm chủ lực của công ty là mũi thấu kính, chi tiết thiết yếu trong những máy quét và mũi khoan quang khắc do ASML chế tạo. Thấu kính DUV deep ultraviolet lithography Dùng ánh sáng tia cực tím với bước sóng từ 193 đến 248 nanomet, kỹ thuật DUV khắc phần lớn các node xử lý ngày nay. Zeiss đã xây dựng hệ thống khắc ảnh DUV qua một trăm năm. Tiến sĩ Abbe đã đề xuất kính hiển vi dùng tia cực tím từ năm 1874 nhưng đến năm 1899 công ty mới phát triển được thấu kính thạch anh thích hợp cho kính hiển vi tia cực tím. Thập kỷ 1960 công ty đầu tư vào phát triển kỹ thuật kính hiển vi để chế tạo thấu kính dùng cho quang khắc đầu tiên. Microlithography cần thu hẹp độ méo ánh sáng lên diện tích lớn, để khắc thiết kế mạch tích hợp lên tấm bán dẫn một cách chuẩn xác. Một thấu kính là chưa đủ nên Zeiss đã đặt chồng nhiều thấu kính nhỏ lên nhau nhằm tạo nên một hệ thống quang học (ống kính) khổng lồ. Field Curvature | Nikon’s MicroscopyU Vấn đề quang học chung khiến vật thể chỉ rõ nét trên một vùng nhất định trong khung hình, không rõ nét được hết. Có nghĩa là trong quang khắc nếu ta chiếu một thiết kế mạch lên một diện tích khung hình lớn, ảnh sẽ không đủ rõ nét. Thập kỷ 1980 và 1990 Zeiss nghiên cứu và áp dụng kỹ thuật làm kính hiển vi vào đáp ứng nhu cầu tăng độ phân giải ảnh để chiếu ảnh khắc thiết kế mạch tích hợp lên tấm đĩa bán dẫn. Thập kỷ 2000, phát hiện khả năng quang khắc nhúng trong nước là bước ngoặt mới trong cải thiện độ phân giải ảnh khắc. Những kỹ thuật in thạch bản trước đây tồn tại một khoảng trống không khí giữa tấm nền và mũi khoan ánh sáng (stepper). In nhúng thay thế khoảng trống không khí đó bằng nước, tức là ta sẽ bắn ánh sáng tia cực tím xuyên qua nước để khắc lên tấm nền. Tức là ta nhúng thấu kính xuống nước. Tiến sĩ Đài Loan Burn-Jeng Lin - Wikipedia đề xuất và công nhận khả năng áp dụng phương pháp này cho chất bán dẫn, kỹ thuật cho phép xưởng đúc khắc axit những hình mẫu nhỏ xuống còn 40 nanomet. Ngày nay sản phẩm hàng đầu của Zeiss áp dụng kỹ thuật này là Starlith 1900i Serial Production of Starlith(R) 1900i Lithography Optics from Carl Zeiss SMT Has Started (finanznachrichten.de) một trong những máy bán chạy nhất Zeiss từng làm ra, công ty đã đầu tư hơn 450 triệu euro mở một nhà máy mới và nỗ lực vượt qua rào cản kỹ thuật khi xây dựng hệ thống quang học đặc thù này. Công nghệ đúc bán dẫn tiếp theo là EUV extreme ultraviolet lithography Chip mới sản xuất trên quy trình EUV với plasma và laser (thanhnien.vn) Mang tính đột phá và sẽ được áp dụng sản xuất những node xử lý thế hệ sau này, EUV ứng dụng một bước sóng hoàn toàn mới do đó đòi hỏi nhiều thay đổi triệt để trong các hệ thống quang học. Công nghệ lithography EUV 'cứu' định luật Moore - Học Lập Trình (code5s.com) Khúc mắc kỹ thuật lớn nhất ở đây là tất cả các vật liệu sẵn có hiện nay đều có thể hấp thụ ánh sáng cực tím năng lượng cao, kể cả không khí (đúng vậy! Không khí cũng hấp thụ EUV). Có nghĩa là thấu kính sẽ bất lực, ánh sáng không thể xuyên qua. Do đó Zeiss sẽ chế một hệ thống quang học toàn bộ bằng nhiều lớp gương. Zeiss bắt tay vào làm hệ thống quang học EUV với dụng cụ phơi sáng kích cỡ micro năm 1995, một phiên bản thu nhỏ của sản phẩm sau này. Schwarzschild-objective-based EUV micro-exposure tool (spiedigitallibrary.org) Extreme ultraviolet microexposures at the Advanced Light Source using the 0.3 numerical aperture micro-exposure tool optic: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena: Vol 22, No 6 (scitation.org) Với hợp tác của phòng thí nghiệm quốc gia Lawrence Livermore và phòng thí nghiệm Berkeley, California, phiên bản mẫu đầu tiên được hoàn thiện năm 2003. EUVL_ Status and Challenges Ahead (2003 Fabtech).pdf (euvlitho.com) Thiết kế được tinh chỉnh thêm 5 lần, cho đến năm 2015 Starlith 3100 hệ thống quang học EUV vận hành thực tiễn đầu tiên được bán cho ASML cài đặt vào trong máy NXE:3100 bản thử nghiệm alpha NXE:3100 full wafer imaging performance and budget verification (spiedigitallibrary.org) Cả Intel và TSMC chi hàng triệu đôla để được tiếp cận sớm bản demo alpha này. EUV systems prepare to ship EUV infrastructure makes ... - ASML.com - PDF Free Download (visionpdf.com) Một hệ thống gồm cảm biến nhận sáng, khẩu độ, cảm biến rọi sáng, reticle (chữ thập ngắm súng tâm là điểm bắn đạn ta thấy trong game bắn súng) và cảm biến chiếu ảnh. Đầu tiên ánh sáng từ nguồn sáng EUV đập vào cảm biến nhận sáng, nó nhận và chiếu ảnh qua khẩu độ có tiêu điểm cỡ trung bình vào cảm biến rọi sáng, lan đều ánh sáng ra. Giờ ánh sáng đã được rọi đều sẽ được phản chiếu lên reticle có chứa thiết kế mạch tích hợp để cuối cùng chiếu ảnh lên tấm nền bán dẫn. Starlith 3100 tiên phong cho những cơ chế chủ đạo của hệ thống quang học mới, sau này đã được hoàn mỹ ở phiên bản sau là Starlith 3300 và 3400… Ngày nay hệ thống quang học kể trên là một bộ phận thiết yếu làm ra những node xử lý dựa trên EUV từ tiến trình 7nm trở về sau này (5nm, 3nm, 1nm…)
Không có nhận xét nào:
Đăng nhận xét